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作者:龙通通石 来源:原创 发布日期:05-24
节,与潜在竞争对手进一步拉开差距。 阿斯麦的研究人员已找到将EUV光源功率从目前的600瓦提升至1,000瓦的方法。 阿斯麦负责NXE系列EUV设备的执行副总裁Teun Van Gogh表示,到本十年末,客户使用每台设备每小时可处理约330片硅晶圆,高于目前的220片。责任编辑:陈钰嘉
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发布时间:00:59:58